HALBLEITERPRÜFUNG
Zur Überwachung der Testautomation wurde im Auftrag eines Halbleiterproduzenten aus Süddeutschland ein Monitor System realisiert, um möglichst frühzeitig Fehler im Fertigungsprozess zu erkennen.
- Das System wird sowohl im Vormessen (auf dem Wafer), als auch im Endmessen (im Gehäuse) eingesetzt.
- Die Testergebnisse werden für das aktuelle Fertigungslos akkumuliert, statistisch aufbereitet und grafisch angezeigt.
- Für die einzelnen statistischen Auswertungen kann der verantwortliche Produktingenieur Alarmgrenzen vorgeben, deren Überschreitung dann entsprechend signalisiert wird.
Eine zentrale Forderung bei der Realisierung des Systems war die Abdeckung unterschiedlicher Testautomaten, zum einen basierend auf UNIX Workstations in verschiedenen Betriebssystemversionen und zum anderen basierend auf Windows-PC.